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[工业组] 高纯隔膜阀技术革新,助力芯片自主化生产

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咖迷社区专家(CAXA)

发表于 昨天 16:44 | 显示全部楼层 |阅读模式
半导体行业作为电子设备制造和信息技术发展的核心,持续增长驱动了半导体隔膜阀市场的需求。随着人们对智能手机、平板电脑、物联网、智能汽车等电子产品的需求增加,半导体制造业持续扩大,从而推动了半导体隔膜阀市场的增长。随着新兴技术的不断涌现,例如人工智能、云计算、5G通信等,对半导体产业提出了更高的要求。这些新兴技术的发展需要更高性能、更精密的半导体制造过程,进而带动了半导体隔膜阀的需求增长。
半导体隔膜阀是一种用于半导体制造过程中的关键设备,用于控制和调节气体或液体在半导体工艺中的流动。它通常由一个隔膜或薄膜组成,该隔膜或薄膜作为阀门的关键部件,用于隔离流体和驱动机构。
超高纯隔膜阀为半导体制造商提供可靠、快速的前导气体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片这些高性能超高纯阀具有以下特点:

  • 快速启动下的超高循环寿命
  • 高精度流量控制
  • 采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯材料
  • 可定制不同连接方式:卡套、对焊 VCR
隔膜由钴基高温合金材料构成,具备强度和耐腐蚀性;其阀体由 316L VIM-VAR 不锈钢构成,适合超高纯应用;阀座由全氟化高纯 PFA 构成,具有广泛的化学相容性和出色的抗膨胀和抗污染性。

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